Là thiết bị có độ linh hoạt cao để đo độ dày lớp phủ với nhiều ứng dụng sử dụng.Đo lường được cả lớp mạ dày hay mỏng (ví dụ như 50 nm Au hoặc 100 µm Sn) bằng sự kết hợp bộ lọc cao thế thay đổi.Ống X-ray tập trung siêu vi có thể đo lường những kích cỡ ...